拟采购的6自由度激光干涉测长系统用于工件台多自由度高精度位移测量及高速反馈。该6自由度激光干涉测长系统包含干涉仪及相关镜组、长条镜组,细分和数字化处
拟采购的6自由度激光干涉测长系统用于工件台多自由度高精度位移测量及高速反馈。该6自由度激光干涉测长系统包含干涉仪及相关镜组、长条镜组,细分和数字化处理轴卡等。主要技术指标:X向测量范围:≥±125mm,Y向测量范围:≥±155mm,Z向测量范围:≥±1mm,RX、RY、RZ测量范围:≥300urad;分辨率:≤0.2nm;最大测量速度:≥300mm/s。
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